机读格式显示(MARC)

• 000 01541nam0 2200481 450

• 001 0000211811

• 005 20060223163803.0

• 010 __ |a 7-03-015288-3 |b 精装 |d CNY48.00

• 099 __ |a CAL 012005132671

• 100 __ |a 20051121d2005 em y0chiy0121 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳米技术及其应用 |A wei na mi ji shu ji qi ying yong |f 李德胜 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 __ |a x, 285页 |c 图 |d 25cm

• 300 __ |a 863计划MEMS重大专项资助课题; 北京市自然科学基金委员会资助出版, 北京工业大学“211工程”资助出版.

• 314 __ |a 题名页题: 李德胜, 关佳亮, 石照耀, 张建辉编著.

• 320 __ |a 有书目 (第284-285页)

• 330 __ |a 本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 新技术应用

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 李德胜, |A li de sheng |f 1962- |4 编著

• 701 _0 |a 关佳亮 |A guan jia liang |4 编著

• 701 _0 |a 石照耀 |A shi zhao yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b XMU |c 20051121

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20060223

• 905 __ |a SCNU |f TB383/4027

• 920 __ |a 235010 |z 1

• 920 __ |a 261020 |z 1

• 920 __ |a 212010 |z 1

• 920 __ |a 232020 |z 1

• 920 __ |a 211010 |z 1

• 920 __ |a 212020 |z 1

• 920 __ |a 231030 |z 1

• 920 __ |a 211030 |z 1

• 920 __ |a 261030 |z 1

• 998 __ |a XMU

• 999 __ |M zhshl |m 20060223 16:38:03 |G gly |g 20060224 08:45:41

• 000 0000260390

• 991 __ |a 012006003210

• 907 __ |a SCNU |f TB383/4027