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• 200 1_ |a 集成电路制造技术 |A ji cheng dian lu zhi zao ji shu |e 原理与工艺 |f 王蔚, 田丽, 任明远编著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a 13, 395页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 电子信息与电气学科规划教材 |A dian zi xin xi yu dian qi xue ke gui hua jiao cai |i 电子科学与技术类

• 320 __ |a 有书目 (第394-395页)

• 410 _0 |1 2001 |a 电子信息与电气学科规划教材 |i 电子科学与技术类

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A ji cheng dian lu gong yi |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _0 |a 王蔚 |A wang wei |4 编著

• 701 _0 |a 田丽 |A tian li |4 编著

• 701 _0 |a 任明远 |A ren ming yuan |4 编著

• 801 _0 |a CN |b BTBU |c 20101015

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• 905 __ |a SCNU |f TN405/1044

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