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• 200 1_ |a 电子束扫描曝光技术 |A dian zi shu sao miao bao guang ji shu |f 吴克华著

• 210 __ |a 北京 |c 宇航出版社 |d 1985

• 215 __ |a 424页 |d 29cm

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 电子束光刻

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• 701 _0 |a 吴克华 |A wu ke hua |4 著

• 801 _0 |a CN |b 深圳图书馆

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