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• 010 __ |a 978-7-118-09583-8 |d CNY99.00

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• 200 1_ |a MEMS集成设计技术及应用 |A MEMS ji cheng she ji ji shu ji ying yong |d = MEMS integrated design technologies and their applications |f 苑伟政, 谢建兵, 焦文龙著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a xviii, 294页, 16页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a MEMS integrated design technologies and their applications |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 研究

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 苑伟政 |A yuan wei zheng |4 著

• 701 _0 |a 谢建兵 |A xie jian bing |4 著

• 701 _0 |a 焦文龙 |A jiao wen long |4 著

• 801 _0 |a CN |b WUL |c 20150122

• 905 __ |a SCNU |f TN4/4421

• 920 __ |a 242430 |z 1