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• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |A wei xi tong she ji yu zhi zao |d = Microsystem design and fabrication |f 王喆垚编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a XV, 648页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 普通高等教育“十一五”国家级规划教材 |A pu tong gao deng jiao yu“ shi yi wu” guo jia ji gui hua jiao cai

• 225 2_ |a 清华大学信息科学技术学院教材 |A qing hua da xue xin xi ke xue ji shu xue yuan jiao cai |i 微电子光电子系列

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书讲述了微系统基本力学，微系统制造技术，微型传感器，微型执行器，射频微系统，光学微系统，生物医学微系统，流体与芯片实验室等内容。

• 410 _0 |1 2001 |a 普通高等教育“十一五”国家级规划教材

• 410 _0 |1 2001 |a 清华大学信息科学技术学院教材 |i 微电子光电子系列

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 王喆垚 |A wang zhe yao |4 编著

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