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• 200 1_ |a 微光机电系统 |A wei guang ji dian xi tong |d = Optical MEMS / MOEMS |d = 光ムイクロムツソ |f (日) 泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 |g 李元燮译 |z eng |z jpn

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 __ |a viii, 347页 |c 图 |d 24cm

• 306 __ |a 本书实际出版年是2004年

• 320 __ |a 有书目 (第329-333页) 和索引

• 330 __ |a 本书共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用, 即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、可动结构体、传感与传感器等; 第2篇是微光机电系统光学, 主要介绍微光机电系统中应用的光学原理, 即光的反射及折射、干涉、衍射、自由空间光学、光辐射压、近场光学等; 第3篇主要介绍材料、制造、封装等。

• 510 1_ |a Optical MEMS / MOEMS |z eng

• 510 1_ |a 光ムイクロムツソ |z jpn

• 606 0_ |a 光电子技术 |A guang dian zi ji shu |x 机电一体化 |x 研究

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 机电一体化 |x 研究

• 690 __ |a TN2 |v 4

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 泽田廉士 |A ze tian lian shi |4 著

• 701 _0 |a 羽根一博 |A yu gen yi bo |4 著

• 701 _0 |a 日暮荣治 |A ri mu rong zhi |4 著

• 702 _0 |a 李元燮 |A li yuan xie |4 译

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20041202

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20050620

• 905 __ |a SCNU |f TN2/3760

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