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• 200 1_ |a 微电子材料与制程 |A wei dian zi cai liao yu zhi cheng |d = Microelectronics materials and processing |f 陈力俊主编 |z eng

• 210 __ |a 上海 |c 复旦大学出版社 |d 2005

• 215 __ |a 613页 |c 图 |d 23cm

• 320 __ |a 有书目和索引

• 510 1_ |a Microelectronics materials and processing |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

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• 701 _0 |a 陈力俊 |A chen li jun |4 主编

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