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• 200 1_ |a 半导体制造系统智能调度 |A ban dao ti zhi zao xi tong zhi neng diao du |d = Intelligent scheduling of semiconductor manufacturing system |f 吴启迪 ... [等] 著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 206页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第196-206页)

• 330 __ |a 本书以半导体制造系统为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，详细解剖、分析半导体制造系统各类调度问题，运用智能化方法设计了相应的求解方案，并通过实例给出了各类调度问题智能化解决方案的实际使用方法。本书在认真总结国内外多年的半导体制造系统智能调度研究成果的基础上，结合作者多年在制造系统智能调度，特别是半导体制造系统智能调度领域的研究与应用成果，对复杂的半导体制造系统智能调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。

• 510 1_ |a Intelligent scheduling of semiconductor manufacturing system |z eng

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 调度程序

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 吴启迪 |A wu qi di |4 著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20150511

• 905 __ |a SCNU |f TN305/6033

• 920 __ |a 242430 |z 1