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• 099 __ |a CAL 012006005576

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |A wei ji dian ji tong she ji yu zhi zao |f 刘晓明, 朱钟淦编著

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2005

• 215 __ |a XII, 371页, [1] 叶图版 |c 图, 折图 |d 23cm

• 225 2_ |a 研究生系列规划教材 |A yan jiu sheng ji lie gui hua jiao cai

• 300 __ |a 电子科技大学研究生系列教材建设项目

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目 (第369-371页)

• 330 __ |a 本书概要介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的概论，MEMS的设计，集成电路 (IC) 基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 研究生系列规划教材

• 510 1_ |a MEMS design and manufacture |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 刘晓明 |A liu xiao ming |4 编著

• 701 _0 |a 朱钟淦 |A zhu zhong gan |4 编著

• 801 _0 |a CN |b SEU |c 20060117

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20060411

• 905 __ |a SCNU |f TM38/0266

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