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• 200 1_ |a 微系统原理与技术 |A wei xi tong yuan li yu ji shu |f 傅建中, 胡旭晓编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2005

• 215 __ |a 223页 |c 图 |d 24cm

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目

• 510 1_ |a Microsystems-theory and technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 傅建中 |A fu jian zhong |4 编著

• 701 _0 |a 胡旭晓 |A hu xu xiao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b BUPT |c 20050310

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20050622

• 905 __ |a SCNU |f TM38/2315

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