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• 010 __ |a 978-7-302-51757-3 |d CNY68.50

• 099 __ |a CAL 012019161446

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统设计导论 |A wei xi tong she ji dao lun |f (德) 沃纳·卡尔·施默博格著 |d = Introduction to microsystem design |f Werner Kal Schomburg |g 董瑛等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2019

• 215 __ |a 230页 |c 图 |d 26cm

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 本书中文简体字翻译版由德国施普林格公司授权清华大学出版社在中华人民共和国境内独家出版发行

• 314 __ |a 责任者规范汉译姓: 朔姆堡

• 320 __ |a 有书目 (第227-230页)

• 330 __ |a 本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计, 包括薄层、弹性元件 (如膜片、微梁)、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等, 并附大量的设计计算练习题。

• 500 10 |a Introduction to microsystem design |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 设计

• 690 __ |a TN402 |v 5

• 701 _1 |a 朔姆堡 |A shuo mu bao |g (Schomburg, Werner Kal) |4 著

• 702 _0 |a 董瑛 |A dong ying |4 译

• 801 _0 |a CN |b HYSYL |c 20191202

• 801 _2 |a CN |b PUL |c 20200106

• 905 __ |a SCNU |f TN402/9252

• 920 __ |a 242430 |z 1