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• 200 1_ |a 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 |A she pin wei ji dian xi tong de li lun she ji zhi bei ji ying yong |f 张海霞, 缪旻, 方东明著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 416页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A wei na zhi zao de ji chu yan jiu xue shu zhu zuo cong shu

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 射频系统 |x 研究

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 张海霞 |A zhang hai xia |4 著

• 701 _0 |a 缪旻 |A miao min |4 著

• 701 _0 |a 方东明 |A fang dong ming |4 著

• 801 _0 |a CN |b TL |c 20131218

• 905 __ |a SCNU |f TN4/1231

• 920 __ |a 242430 |z 1