机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 可重入制造系统的控制 |A ke chong ru zhi zao xi tong de kong zhi |f 张洁, 吴立辉, 翟文彬著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2009
- 215 __ |a 296页 |c 图 |d 24cm
- 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 控制系统
- 701 _0 |a 张洁 |A zhang jie |4 著
- 701 _0 |a 吴立群 |A wu li qun |4 著
- 701 _0 |a 翟文彬 |A zhai wen bin |4 著
- 801 _0 |a CN |b BUPT |c 20090302
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