MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：101
- 题名/责任者:
- Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart.
- 出版发行项:
- New York : Academic Press, 1983.
- ISBN:
- 0126747806
- 载体形态项:
- viii, 151 p. : ill. ; 24 cm.
- 个人责任者:
- Stuart, R.V.
- 论题主题:
- Vacuum technology.
- 论题主题:
- Thin films.
- 中图法分类号:
- TB7
- 一般附注:
- Includes index.
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