MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：106
- 题名/责任者:
- 半导体制造工艺控制理论/王少熙 ... [等] 著
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-5612-5953-5/CNY49.00
- 载体形态项:
- 170页:图;26cm
- 个人责任者:
- 王少熙 著
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书共6章，第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景；第2章阐述单变量工序能力指数；第3章阐述多变量工序能力指数；第4章阐述常规过程控制技术；第5章阐述特殊过程控制技术；第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。
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