MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：62
- 题名/责任者:
- 硅单晶抛光片的加工技术/张厥宗编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社材料科学与工程出版中心,2005
- ISBN及定价:
- 7-5025-7224-4 精装/CNY35.00
- 载体形态项:
- 304页, [3] 叶图版:图 (部分彩图);21cm
- 个人责任者:
- 张厥宗 编著
- 学科主题:
- 半导体材料-硅-抛光-加工工艺
- 中图法分类号:
- TN305.2
- 书目附注:
- 有书目 (第299-304页)
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