MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：97
- 题名/责任者:
- 聚合物微纳制造技术/王立鼎 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-118-08359-0/CNY83.00
- 载体形态项:
- xxi, 208页:图;24cm
- 丛编项:
- 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
- 个人责任者:
- 王立鼎 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书出版规划项目
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容包括: 绪论 ; 聚合物材料结构特征与性能 ; 微注塑成型 ; 微热压成型 ; 软刻蚀方法 ; 高能束微纳刻蚀 ; 聚合物微纳器件封合与集成等。
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