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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:59

题名/责任者:
硅片加工工艺学/高融, 苏明哲译
出版发行项:
上海:上海科学技术文献出版社,1985
载体形态项:
201页;19cm
统一题名:
Silican wafer processtechnology
个人责任者:
高融
个人责任者:
苏明哲
学科主题:
半导体工艺
中图法分类号:
TN305
版本附注:
根据美国集成电路工程公司1977年出版《硅版制造手册》第一卷译成
相关题名附注:
英文题名取自书中
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 定位
TN305/0015 0353920   密集书库一     可借 定位
TN305/0015 0353921   密集书库一     可借 定位
TN305/0015 0353922   密集书库一     可借 定位
TN305/0015 0353923   密集书库一     可借 定位
TN305/0015 0107136   理科综合阅览室     保留本 定位
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