MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：88
- 题名/责任者:
- 半导体制造基础/(美) Gary S. May, 施敏著 代永平译
- 出版发行项:
- 北京:人民邮电出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-115-16639-5/CNY45.00
- 载体形态项:
- 268页:图, 肖像;24cm
- 丛编项:
- 图灵电子与电气工程丛书
- 个人责任者:
- 梅 (May, Gary S.) 著
- 个人责任者:
- 施敏 著
- 个人次要责任者:
- 代永平 译
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 版本附注:
- 据John Wiley & Sons, Inc.2003年英文版译出.
- 出版发行附注:
- 本书简体中文版由Wiley Publishing, Inc.授权人民邮电出版社出版.
- 书目附注:
- 有书目和索引
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