MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:86
- 题名/责任者:
- Ion implantation : science and technology / edited by J.F. Ziegler.
- 出版发行项:
- Orlando ; New York : Academic Press, 1984.
- ISBN:
- 0127806202 (Orlando : alk. paper)
- 载体形态项:
- xi, 635 p. : ill. ; 24 cm.
- 附加个人名称:
- Ziegler, J. F. (James F.)
- 论题主题:
- Ion implantation.
- 中图法分类号:
- TN305.3
- 书目附注:
- Includes bibliographies and index.
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