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题名/责任者:

MEMS集成设计技术及应用/苑伟政, 谢建兵, 焦文龙著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09583-8/CNY99.00

载体形态项:

xviii, 294页, 16页图版:图 (部分彩图);24cm

并列正题名:

MEMS integrated design technologies and their applications

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

苑伟政 著

个人责任者:

谢建兵 著

个人责任者:

焦文龙 著

学科主题:

微电子技术-研究

中图法分类号:

TN4

一般附注:

国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。

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