MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：55
- 题名/责任者:
- 微纳加工科学原理/唐天同, 王兆宏著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-121-11018-4 精装/CNY89.00
- 载体形态项:
- x, 525页:图;27cm
- 丛编项:
- 信息科学与工程系列专著
- 个人责任者:
- 唐天同, 1938- 著
- 个人责任者:
- 王兆宏, 1976- 著
- 学科主题:
- 纳米材料-新技术应用
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金 电子信息科技专著出版专项资金资助出版
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括: 光子、电子、离子和等离子体及其作用, 常用的衬底与薄膜材料, 微细图形技术, 薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法等。
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