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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:58

题名/责任者:
微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2005
ISBN及定价:
7-118-04121-1/CNY32.00
载体形态项:
XII, 371页, [1] 叶图版:图, 折图;23cm
并列正题名:
MEMS design and manufacture
丛编项:
研究生系列规划教材
个人责任者:
刘晓明 编著
个人责任者:
朱钟淦 编著
学科主题:
微电机-高等学校-教材
中图法分类号:
TM38
一般附注:
电子科技大学研究生系列教材建设项目
相关题名附注:
英文并列题名取自封面
书目附注:
有书目 (第369-371页)
提要文摘附注:
本书概要介绍MEMS的设计与制造,全书共分7章,内容包括:MEMS的概论,MEMS的设计,集成电路 (IC) 基本制造技术,MEMS的制造技术,微传感器,微执行器以及MEMS的应用及检测技术。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 定位
TM38/0266 1245527   密集书库三     可借 定位
TM38/0266 1245529   密集书库三     可借 定位
TM38/0266 1245530   密集书库三     可借 定位
TM38/0266 1245531   密集书库三     可借 定位
TM38/0266 1245528   理科综合阅览室     保留本 定位
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