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检索到 2 条 主题词=Plasma etching. 的结果    

 


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  1. 西文图书1.Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / O461.2/C466

    馆藏复本：1
    可借复本：0     Brian Chapman.
    Wiley, 1980.
    (0) 馆藏

  2. 西文图书2.Dry etching for microelectronics / TN405.2/P882

    馆藏复本：1
    可借复本：0     edited by Ronald A. Powell.
    North-Holland Physics Pub. ; 1984.
    (0) 馆藏

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